真空薄膜在光学上的用途

2022/08/22

1.防反射膜

　　是指为了防止眼镜，相机等镜头表面的反射，增加透射光，利用光的干涉现象而制成的薄膜。成膜是在真空蒸镀的状态下进行的。被设计成如氟化镁(MgF2)的单层膜，二氧化碳，氧化锆，氧化铝，氧化钽等3--5层的薄膜是比较一般的。

　　2.过滤膜

　　是指只让指定波长的光透过或者反射的光学薄膜.拥有比如说只让绿色的光透过,透射可见光,反射红外线等特性.通常在真空蒸镀中使用多层膜.层数是根据光学的特性来要求的,比如说二氧化碳和二氧化钛就是由10?60层左右反复重叠起来的.在大容量的光通信系统上,利用多重

　　(DWDM: Dense Wavelength Division Multiplexing)技术分割高密度波长的超多层膜过滤器就要求要有100层以上的膜堆积而成.另外,在严密性要求不是很讲究的大面积的建材用的玻璃等方面，是用银(Ag)等很薄的薄膜作为吸收膜，只要求3--5层的膜，是用溅镀方式形成的。

　　3.透明导电膜

　　是指用在太阳能电池和液晶显示面板等的透明电极上的薄膜。利用了氧化锡(SnO2)，以及掺杂了氧化铟(ITO：Indium Tin Oxide)的锡。成膜方式主要为溅镀方式，真空镀膜以及离子镀的方式也有被利用到一小部分。